簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共2筆資料 檢索策略： "成維華".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="單晶矽基板"


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    單晶矽奈米特定流道之加工模擬及實驗驗證
    • 機械工程系 /105/ 碩士
    • 研究生： 陳博彥   指導教授： 林榮慶
    • 本文先建立用偏移循環加工法及推導出加工奈米流道梯型凹槽到預定深度與寬度所需的預估偏移加工的加工道次及底部凸起的公式，並建立加工梯型凹槽到預定深度及寬度的方法。由於切削的深度會直接影響切削寬度…
    • 點閱：341  下載：0 
    • 全文公開日期 2022/08/02 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)

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    具研磨液之單晶矽結合能及奈米切削力與溫度分佈估算
    • 機械工程系 /105/ 碩士
    • 研究生： 張朝瑀   指導教授： 林榮慶
    • 摘要 本研究先以下壓力對未浸泡研磨液的單晶矽基板進行原子力顯微鏡(AFM)加工，得出單晶矽基板未浸泡研磨液的比下壓能值。然後再利用較小的下壓力對浸泡室溫研磨液之單晶矽進行AFM加工實驗，以比下壓能理…
    • 點閱：243  下載：0 
    • 全文公開日期 2022/08/02 (校內網路)
    • 全文公開日期 2104/08/02 (校外網路)
    • 全文公開日期 2104/08/02 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)
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